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實(shí)驗(yàn)檢測儀器
測量金相顯微鏡
PZ-7050DOLED顯微鏡
                    




產(chǎn)品簡介
                OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED發(fā)光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量著重于準(zhǔn)確度,系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結(jié)構(gòu),減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題。系統(tǒng)采用XY軸光學(xué)尺模塊可實(shí)現(xiàn)跨距量測。
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品名稱:OLED顯微鏡
產(chǎn)品簡介:OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED發(fā)光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測著重于準(zhǔn)確度,系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結(jié)構(gòu),減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題。系統(tǒng)采用XY軸光學(xué)尺模塊可實(shí)現(xiàn)跨距量測。光學(xué)系統(tǒng)采用Nikon/Olympus熒光顯微鏡光路實(shí)現(xiàn)對OLED的激發(fā)。人性化計(jì)算機(jī)量測模式,有效提高觀察定位效率。專為使用者設(shè)計(jì)*機(jī)型,使操作更便利、測量更迅速。
產(chǎn)品特點(diǎn):
手動量測系統(tǒng)XY采用精密無牙螺桿傳動,減少齒輪傳動偏移誤差
線性馬達(dá)/伺服馬達(dá)用于自動化量測傳動系統(tǒng),能實(shí)現(xiàn)高精度測量
系統(tǒng)采用被動式or主動式減震系統(tǒng),能克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題
系統(tǒng)使用Nikon/Olympus 熒光顯微光路,有效激發(fā)OLED發(fā)射光譜
系統(tǒng)使用人體工學(xué)設(shè)計(jì)理念設(shè)計(jì),符合友好化測量
設(shè)備應(yīng)用:
設(shè)備主要應(yīng)用OLED的顯微分析和蒸鍍測量上
量測工具  | 點(diǎn),線,圓,弧,橢圓,槽型,曲線等各項(xiàng)不規(guī)則外型取樣  | 
形位公差  | 真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項(xiàng)形位公差設(shè)置  | 
UV功能驗(yàn)證  | UV光源下圖像清晰  | 
斷面測量  | 按照PO spec要求進(jìn)行測試并保存結(jié)果  | 
自動計(jì)算offset  | 根據(jù)蒸鍍有機(jī)材料的位置與設(shè)定的蒸鍍位置對比,計(jì)算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對比,計(jì)算offset  | 
UV光和鹵素光自動切換  | 在軟件中點(diǎn)擊切換按鈕后,可以自動切換光源并呈現(xiàn)相應(yīng)的圖像  | 
SPC  | 軟件須附帶SPC功能,量測之?dāng)?shù)據(jù)須能自動導(dǎo)出作分析  | 
報(bào)表輸出  | 軟件可客制化輸出客戶所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG  | 
7.3.2 設(shè)備配置&特征 7.3.2System Configuration& Characteristic 
 
  | 外部尺寸:L*W*H≤2500*2500*2000mm  | 
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*測量行程:X*Y≥750*650mm Z≤100mm  | 
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重量:≤5000kg  | 
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承重:≥10kg Capacity: ≥10kg  | 
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*高測量準(zhǔn)確度:XYZ≤1μm *Maximum Accuracy: XYZ≤1μm  | 
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*機(jī)臺重復(fù)性:≤1μm *Machine Repeatability:≤1μm  | 
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XYZ最小移動距離:XYZ≤1um XYZ minimum move distance: XYZ≤1um  | 
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XYZ移動精度: XYZ≤1um XYZ move precision: XYZ≤1um  | 
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*XYZ軸移動速度: XYZ≤200mm/s  | 
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7.3.3機(jī)械本體 7.3.3 Mechanics  | 主機(jī):影像測量系統(tǒng),四軸CNC控制 Machine: 4-axis CNC video measuring machine  | 
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機(jī)械結(jié)構(gòu):花崗巖或相同性能材質(zhì) Structure: Granite or comparable material  | 
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平面度公差:≤7um Platness Tolerance: ≤7um  | 
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*光柵尺分辨率:XYZ≤0.5um  | 
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*攝像機(jī):彩色相機(jī),200萬像素,WAN接口 *Camera: Color camera, 2000000 pixels, the wan interface  | 
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*CCD芯片尺寸:≥2/3英寸 *CCD Size: ≥2/3 inch  | 
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光學(xué)系統(tǒng)配置:檢偏鏡,起偏鏡,紅藍(lán)綠濾光片,0.5X C接口,明暗場光學(xué)系統(tǒng),五孔電動鼻輪 The optical system configuration: a polarizer, red green and blue filters, 0.5X C-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel  | 
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*光學(xué)放大倍率:5X/10X/20X/50X/100X  | 
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光源特征:光源可以采用鹵素?zé)?、汞燈,壽命滿足SPEC要求  | 
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7.3.5電控系統(tǒng)、 7.3.5 Control System  | 電機(jī):直流伺服電機(jī) Dynamo:DC servo motor  | 
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操作類型:鼠標(biāo)和操作手柄,按鍵 Control Type: Mouse and Joystick  | 
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7.3.6軟件系統(tǒng) 7.3.6 Software System  | 功能:點(diǎn),直線,圓,弧,橢圓,槽等測量功能,帶有線追蹤功能,粒子計(jì)數(shù),軟件定位系統(tǒng),軟件控制光源亮度,軟件控制電動鼻輪,軟件控制孔徑光闌  | 
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圖像:可復(fù)制,可進(jìn)行大面積圖形無縫拼接 Image: can copy  | 
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*數(shù)據(jù)格式:JPG/Excel *Data format: JPG/Excel  | 
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7.3.7 其它 7.3.7 Others  | *防微振裝置:達(dá)到VC-B級別的防震平臺 *Anti-vibration device: Yes  | 
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*靜電防護(hù):離子風(fēng)棒 *ESD: BUAS  | 
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